自动化测试设备（ATE，Automatic Test Equipment）是一种通过计算机控制进行器件、电路板和子系统等测试的设备。通过计算机编程取代人工劳动，自动化的完成测试序列。自动化测试设备（ATE）已是全球半导体设备产业之中的重要组成部分。

自动化测试设备（ATE）的应用场合涵盖集成电路整个产业链，主要包括了芯片的设计验证、晶圆制造相关的测试到封装完成后的最终成品测试。

自动化测试设备（ATE）从1960年代发展至今，已经形成泰瑞达（Teradyne）与爱德万测试（Advantest）的双寡头格局，合计占有全球近90%以上的市场。

在SoC测试系统与存储器测试系统方面，泰瑞达与爱德万各具优势。中国企业开始发力。

然而在模拟测试系统方面，中国厂商华峰测控（AccoTest）经过多年研发和布局，已经取得了不俗的市场份额，产品不仅在国内大批量安装，而且已经进入美国、欧洲、日本市场，获得多家顶级IDM公司内采购，并成为顶级代工公司的指定采购产品。

广立微（Semitronix）十年磨一剑，研制出快速电学参数测试机Semitronix Tester，为客户提供准确且高度自动化的测试解决方案用于快速和更好地监控工艺。目前已经进入国际顶级IDM公司量产线。

在自动化测试设备（ATE）60年的发展史上，出现了一批经典机台。比如，数字测试机中经典的有1980年代的Fairchild S10，1990年代的credence sc212，2000年代的Teradyne J750；模拟混合测试机，1980年代的Teradyne A360，LTX77，1990年代的Teradyne A500系列、Shibasuko WL22、TMT的ASL1000，2000年代的ETS364、AccoTEST STS8200；SoC测试机有P安捷伦V93000，Ultra Flex和Advantest T2000；存储方面，经典的DRAM测试机Advantest T5581，经典的Flash测试机Nextest Magum，Verigy Vesatest V66xx系列。

但是早期的半导体测试设备发展并不完全是由独立的设备商引导，而是由半导体制造公司主导的。仙童半导体（Fairchild ）、德州仪器（TI）等制造企业生产ATE用于内部使用。据悉在20世纪70年代末，仙童半导体（Fairchild ）掌握全球范围70%的ATE市场。

2019年2月，芯思想公众号推出《全球ATE设备发展简史》，受到业界人士的关注，热心的朋友提出了许多指正。为北，再次推出《全球ATE设备发展简史》更新版。

1960年代：自动测试设备（ATE）初创期

1960年，Alex d'Arbeloff和Nick DeWolf联合创办泰瑞达（Teradyne）。

1965年，仙童半导体（Fairchild）自动化测试部门成立，推出5000C（模拟器件测试）和Sentry 200（数字电路测试），5000C和Sentry 200都由自主开发的24位、10MHz计算机FST2进行控制。 

1966年，泰瑞达（Teradyne）推出第一款配备小型计算机的集成电路测试仪J259。

1965年，Everett Charles Technologies（ECT）成立，从事电路板测试。

1966年，安藤电机（Ando Electric）进入半导体测试市场。公司成立于1933年。

1968年，武田理研工业（Takeda Riken Industries）进入半导体测试市场。公司创办于1954年，初期是一家电子测量仪器制造商。

1969年，Teradyne 在收购Triangle Systems后建立Teradyne Dynamic Systems。

1970年代：发展期

1970年9月，Shiba Electric Co.，Ltd.名称改为芝测（ShibaSoku Co.，Ltd.），凭借公司在音视频测试方面的技术积累，切入模拟IC测试市场。Shiba Electric Co.，Ltd .成立于1955年9月7日，初期以音频测试设备为主，经历过电视机用测试设备，通信用测试设备。

1971年，武田理研工业（Takeda Riken Industries）推出了LSI测试系统T-320/10。

1973年，武田理研工业（Takeda Riken Industries）推出了10MHz的LSI测试系统T-320/20。

1973年，安藤电机（Ando Electric）开发完成内存测试机台 DIC-7070。

1974年，芝测（ShibaSoku Co.，Ltd.）推出日本第一台模拟IC测试机LT 303，后来演变为WL11（1980）、WL8000（1982）、WL25。

1975年，General Radio Company更名GenRad，在仙童半导体（Fairchild）的离职工程师的支持下，推出数字测试系统R16/R18，进入半导体ATE设备市场。General Radio Company成立于1915年，初期主营电子仪器测试设备。

1975年，Megatest成立，研发逻辑测试设备，是英特尔微处理器8080等型号测试设备供应商。

1976年，武田理研工业（Takeda Riken Industries）推出全球首个DRAM测试机台T310/31，很快在市场上取得了成功。

1976年，泰瑞达（Teradyne）员工Graham Miller和Roger Blethen离职创办了LTX。

1976年，通用电气（General Electric）电子测试设备的研究员和设计师Luciano Bonaria在意大利都灵创办了SPEA，用于电子和自动化系统测试。

1976年，Len Foxman创办Eagle Test Systems，开始提供测试解决方案。

1977年，Spandnix进入ATE市场，开始制造模拟IC测试系统。公司成立于1970年11月12日，初期销售电子零件和制造测量设备。

1977年，LTX推出首款模拟测试平台LTX77。

1978年，GenRad员工离职创办Trillium Test System。

1979年，斯伦贝谢（Schlumberger）收购Fairchild Camera and Instrument，包括仙童半导体（Fairchild）及测试系统部门。

1979年，武田理研工业（Takeda Riken Industries）推出测试速度达到100MHz的机台T-3380（非存储测试设备）和T-3370（存储测试设备）。

1979年，Test Systems Strategies Inc.（TSSI）成立，专注设计测试软件解决方案提供，服务于矢量转换和模式验证市场；其主要贡献是波形生成语言（WGL，Waveform Generation Language）的发明。

1979 年，泰瑞达（Teradyne）发布A300 Analog LSI测试系统，同年营业额突破1亿美金大关；同年并开始在中国拓展业务。

1970年代末，仙童半导体（Fairchild）的ATE设备占有全球70%的市场。

1980年代：进入VLSI时代，产业并购开始

1980年，武田理研工业（Takeda Riken Industries）推出T-3331，公司形成一套测试速度完备的存储器测试机系列产品。

1980年，斯伦贝谢（Schlumberger）在收购Fairchild后，推出数字测试系统S10，成为1980年代的畅销产机型。

1981年，泰瑞达（Teradyne）发布第一款超大规模集成电路不停机测试系统J941；1982年J941赢得英特尔公司100万美元的合同，英特尔对泰瑞达和J941投下了信任票。

1981年10月26日，英特尔（Intel）离职工程师成立Versatest, Inc.，专注Flash Memory测试系统。

1982年，横河（Yokogawa）进入半导体测试市场。

1982年，GenRad在仙童半导体（Fairchild）的离职工程师的支持下，推出数字测试系统R16，进入半导体ATE设备市场。

1982年10月，仙童半导体（Fairchild ）将自动化测试部门分拆成立仙童测试系统（Fairchild Test Systems）。

1982年，David Mees创办Semiconductor Test Solutions（STS），进入半导体测试领域，当时STS的策略是针对一些中小ASIC公司提供服务。

1982年，芝测（ShibaSoku Co.，Ltd.）推出WL8000模拟LSI测试系统，作为WL11的高端测试机台。

1983年，Aehr Test Systems成立，从烧录设备起家。

1983年国家"六五科技攻关"项目正式起动国产ATE 测试系统研制。该项目于1988年通过电子部组织的国家鉴定，并获电子部一等奖。

1984年，由电子工业部发起成立，经国家科委批准成立“大规模集成电路测试技术研究所”，简称“大测所” 。

1985年，GenRad推出数字测试系统R18，成为市场畅销机台。

1985年，武田理研工业（Takeda Riken Industries）更名爱德万测试（Advantest），同年推出Megaone系列。

1985年，Semiconductor Test Solutions（STS）推出了STS 6000系列测试系统，服务于超大规模集成（VLSI）和大规模集成（LSI）芯片。

1985年，Trillium Test System总裁被害；LTX收购Trillium Test System。

1986年，仙童测试系统（Fairchild Test Systems）更名斯伦贝谢测试系统（Schlumberger Test Systems）。

1986年，“大规模集成电路测试技术研究所”划归北京市领导，改名“北京自动测试技术研究所”。

1986年，泰瑞达（Teradyne）推出了第一款模拟VLSI测试系统A500。

1986年，EPRO成立，专注存储测试。

1986年，中国科学院计算技术研究所研制成功ICT-2LSI/VISI综合测试系统，功能测试速率10MHz/20MHz，通道数48(128)，OTA(系统总定时精度)±2ns。

1987年，北京自动测试技术研究所研制成功BC3170存储器测试系统，功能测试速率20MHz，通道数32个。

1987年，INNOTECH成立，后由贸易公司转型，提供NAND和CMOS图像传感器测试机台 。

1987年，Semiconductor Test Solutions（STS）发布了STS 8000系列测试系统，并获得美国国防部和美国商务部的许可，将其系统运往中国。

1988年，SPEA为苏联半导体制造厂制造了一台采用水冷（water cooled）的芯片测试设备Comptest MX 500。

1988年8月5日，国产ATE 测试系统主要研发团队组建北京科力新技术发展总公司，同年推出基于ECL技术的20mhz存储器测试系统。

1988年，Semiconductor Test Solutions（STS）收购Axiom Technology，强化混合信号（Mixed Signal）测试。

1988年，Spandnix推出紧凑型线性IC测试仪SX-1300，1990年代一度是台湾装机量最大的模拟器件测试平台。

1989年，Semiconductor Test Solutions（STS）收购了ASIX Systems，更名ASIX-STS。

1990年代：SoC测试系统来临

1990年，ASIX-STS更名科利登（Credence Systems Corp.）。

1991年，科利登（Credence）收购泰克（Tektronix）的半导体测试系统部门，科利登籍此进入高端测试系统市场。

1991年，科力公司推出基于TTL/CMOS可编程阵列的12.5MHz数字测试系统3160A，并正式商业销售。

1991年，TMT, Inc.成立，专注模拟IC测试，主力机型是ASL系列产品，包括ASL1000。

1991年，爱德万测试（Advantest）推出J971。

1992年，德国Klaus Christian Penner家族成立SZ Testsysteme，公司具有独特的模拟测试技术。

1992年，爱德万测试（Advantest）推出当时业界最高分辨率的LCD驱动器测试系统G4350（用于研发）和G4310（用于批量生产），进入LCD测试市场。

1992年，科利登（Credence）推出了Vista和数字测试系统SC212；SC212成为1990年代的畅销机型。

1992年，芝测（ShibaSoku Co.，Ltd.）推出WL93/WL22模拟LSI测试系统，该系统采用了新的架构，缩短了器件的测量时间，曾经一度占据日本模拟测试市场的90%。

1993年，爱德万测试（Advantest）推出测试速度高达500MHz/1GHz的VLSI测试系统 。

1993年，惠普（HP）推出HP 83000系统，进入数字式集成电路产品测试市场。

1993年，科力公司推出基于CPLD和AMD位片式CPU技术的20MHz的随机图形/算法图形的数字测试系统SP3160-D。

1993年2月1日，北京华峰测控技术有限公司成立，专注于半导体元器件测试筛选设备和专用智能化测试系统的研制。

1994年，Test Systems Strategies Inc.（TSSI）和See Technologies合并，组建了Summit Design。

1995年，SPEA进入了处理器测试领域，首个订单来自Swatch集团，用于测试手表芯片。

1995年，科利登（Credence）收购内存测试设备供应商EPRO，迅速进入非易失性存储器市场。

1995年，科力公司推出数模混合测试系统，该系统含+/-40v浮动程控电源/PMU、通用运放包、电源管理器件测试包、AD/DA测试包、54/74/40xx/8xxx测试程序库。

1995年，Lev Alperovich和David Oka、Tom Farkas创办StepTech, Inc.，公司具有独特的射频RF测试技术，为无线、汽车、电源、消费类IC提供射频ATE设备。（Lev Alperovich是Axiom Technology的创始人）

1996年1月，泰瑞达（Teradyne）收购Megatest，强化公司的存储测试产品线。

1996年，泰瑞达（Teradyne）推出Marlin存储测试系统，这是第一个能够同时进行DRAM测试和冗余分析的系统。

1996年，北京自动测试技术研究所、国营光华无线电仪器厂、中国科学院计算技术研究所联合研制成功3190数字集成电路大型测试系统，测试速率40MHz，通道数64个，定时精度±750ps。

1997年，科利登（Credence）收购Summit Design旗下子公司Test Systems Strategies Inc.（TSSI）。

1997年，泰瑞达（Teradyne）推出了第一个具有实时转换能力的结构到功能测试系统J973。

1997年，原Megatest团队从泰瑞达（Teradyne）离职创办Nextest Systems，提供低成本的Flash和SoC测试系统，其Mangum系统是Sandisk的首选测试平台。

1997年，科利登（Credence）收购Zycad的TDX系列故障和测试产品线。

1997年，泰瑞达（Teradyne）推出了首款片上系统（SoC）测试系统Catalyst。

1997年，惠普（HP）收购Versatest, Inc.。Versatest是存储芯片测试设备提供商，其V66XX系列曾是Flash存储测试机的畅销产品，可惜在爱德万测试（Advantest）收购惠瑞捷（Verigy）后，V66XX系列被停止了。

1998年，科力公司推出程控交换机专用IC测试系统。

1998年，泰瑞达（Teradyne）推出了一种用于低成本设备大批量测试的测试解决方案Integra J750。这是一款经典产品，是一款性价比高的MCU测试平台，直到今天J750还在热卖中（20年来，J750的测试速度从100M增加到800M，测试通道从512增加到2048，并增加了并行测试，背景运算等新功能）。 

1998年，惠普（HP）推出HP 95000 HSM 型高速存储测试系统可用于DRAM的大量生产性测试。速率高达800MHz，为DRAM制造商提供最小的占用空间、最低测试成本和最低风险的测试方案。

1998年6月8日，科利登（Credence）收购HPL Inc.存储测试资产，强化公司在存储测试领域的实力；同年推出Flash测试平台Kalos，在台湾市场取得相当的份额。

1999年11月1日，安捷伦（Agilent）承袭全部惠普测试测量业务独立上市，同年推出V93000平台，平台功能强大，可测试用于各种终端产品（从数字电视到无线通信设备）的片上系统（SOC）和系统级封装（SiP）器件。

1999年，爱德万测试（Advantest）推出ITS9000。

2000年代：四强争霸

泰瑞达（Teradyne）、爱德万测试（Advantest）、科利登（Credence）、安捷伦（Agilent）/惠瑞捷（Verigy）四强争霸。 

2000年，爱德万测试（Advantest）收购原东芝旗下的测试设备部门Asia。

1992年，芝测（ShibaSoku Co.，Ltd.）推出WL25模拟LSI测试系统，满足高功率器件测试需求。

2000年，泰瑞达（Teradyne）推出新一代图像传感器测试系统IP-750。

2000年，科利登（Credence）收购TMT, Inc.，获得ASL系列RF测试系统。

2001年，科利登（Credence）收购专门为ATE市场提供接口解决方案商Dimensions Consulting Inc.，完善公司在非易失性存储器市场的能力。

2001年，泰瑞达（Teradyne）收购GenRad电路板测试业务。

2001 年，泰瑞达（Teradyne）在上海成立中国总公司，随后在北京、深圳、苏州、天津和无锡等地设立办事处。

2002年，斯伦贝谢测试系统（Schlumberger Test Systems）分拆成立恩浦科技（NPTest）。

2002年，专业测试商京元电子（KYEC）开始研发自制机台，先期从逻辑测试开始发展自制机台测试解决方案，推出E200机型，获得重要客户们的认可并实际成功导入量产。

2002年10月1日，横河（Yokogawa）拥有安藤电机（Ando Electric）的100%股份，拥有内存测试、模拟测试和LCD驱动测试。（2001年收购NEC持有Ando的33%股份）

2003年1月2日，科利登（Credence）收购SZ Testsystem，更名Credence Systems GmbH。SZ Testsystem具有独特的模拟测试技术，公司为模拟、电力、汽车和通信市场提供ATE产品。

2003年，科利登（Credence）收购Optonics公司，凭借Optonics的发散型光学诊断和故障分析技术，业务扩展到硅片测试、器件特征测试和故障分析领域。

2003年，科力公司推出量产型模拟测试系统SP3196，2005年在天水华天大量装机。

2003年，科利登（Credence）在中国上海市设立办公室，这是进入中国市场的一项关键战略。

2003年6月，Francisco Partners从斯伦贝谢（Schlumberger）收购恩浦科技（NPTest）。

2003年6月10日，LXT收收购StepTech, Inc.的82%的股份（2000年10月LXT战略投资StepTech, Inc.，持有18%的股份）。 

2003年8月，恩浦科技（NPTest）和北京微电子技术研究所联合宣布建立高端CPU/SOC测试战略合作伙伴关系，EXA3000超大规模集成电路测试系统首次进入中国。

2004年5月28日，科利登（Credence）完成收购恩浦科技（NPTest），进入高端SOC测试领域。

2004年，泰瑞达（Teradyne）推出了FLEX系列测试系统，为大批量、高混合、复杂的SoC器件提供测试灵活性。

2004年，安捷伦（Agilent）推出Versatest V4000系统，提供100MHZ的测试性能和独立的64条I/O通道，保证其应用程序全面兼容所有Versatest系列产品利益于兼容能力，在v4000上开发的测试程序可以直接转移到用于量产的其他Versatest基台上，提供从工程到量产的关联性及可重复性。 

2004年，科力公司应国防单位要求推出液氮制冷的红外CCD传感器测试系统。

2005年，科力公司推出分立器件测试系统、继电器和DC/DC测试系统。

2005年3月，北京华峰测控技术有限公司推出第一台半导体IC量产设备，并接获第一台设备订单。

2005年，Test Systems Strategies Inc.（TSSI）再次成为独立公司，专注测试程序软件开发。TSSI当年开发和波形生成语言（WGL）已成为国际标准，目前支持下一代的标准语言STIL （标准测试接口语言，Standard Test Interface Language）。

2005年，横河（Yokogawa）推出存储器测试系统MT6121，可以在机台的两个测试头上在不同的周期同时测试不同的存储器件产品，体现了两个不同的测试台共存于一个测试系统（TWO in ONE）的理念。

2006年6月1日，惠瑞捷（Verigy）正式运营，承接原安捷伦半导体测试（Agilent STS）事业群，包括系统单芯片（SOC）和系统级封装（SIP）以及内存测试等业务。

2006年，科力公司推出PerPin架构的50mhz数字测试系统，最大通道数256个。

2007年，SPEA推出全球第一台用于处理和测试惯性MEMS微传感器的测试设备。

2007年3月28日，泰瑞达（Teradyne）完成收购MOSAID Technologies的存储测试资产和专利。

2007年6月23日，惠瑞捷（Verigy）推出V93000 Port Scale射频测试系统。

2007年9月，英特矽尔（Intersil）收购Planet ATE Inc.，这是一家专为ATE测试设备提供芯片的公司。

2007年10月，专业测试商京元电子（KYEC）推出CMOS影像传感器（CIS）芯片自制测试机台I1000和功率器件测试机型E320-P。

2007年12月6日，惠瑞捷（Verigy）收购Inovys，Inovys为复杂的半导体器件和工艺提供设计调试，故障分析和良率加速。

2008年1月24日，泰瑞达（Teradyne）完成收购Nextest Systems Corp.，获得闪存测试Magum系列产品，公司业务得以扩展到闪存测试市场。

2008年1月，科利登（Credence）宣布停止研发Sapphire平台。

2008年3月，AccoTEST作为北京华峰测控技术有限公司的事业部成立，AccoTEST做为半导体IC量产测试的品牌正式亮相。

2008年3月，Lev Alperovich创办Test Evolution，这也是Lev Alperovich第三次创业。其前两次创办的Axiom Technology和StepTech最后都整合进了LTX-Credence。

2008年8月，华峰测控（AccoTEST）正式推出STS8200模拟及混合信号测试系统平台。

2008年8月29日，LXT与科利登（Credence）合并变成LTX-Credence。

2008年8月31日，爱德万测试（Advantest）完成收购Credence Systems GmbH（原SZ Testsystem），获得模拟测试技术，从而得以进入汽车电子测试领域的德国博世（BOSCH）公司。

2008年11月17日，泰瑞达（Teradyne）完成对Eagle Test Systems收购，加强公司模拟测试业务。

2008年11月26日，惠瑞捷（Verigy）宣布推出V6000测试系统，可在同一套自动化测试设备(ATE)机台上，测试FLASH和DRAM内存，包括V6000e、V6000WS、V6000FT。

2009年，长川科技推出第一代数模混合测试机CTA8200。

2009年4月29日，北京冠中集创科技有限公司成立。

2009年6月15日，惠瑞捷（Verigy）收购Touchdown Technologies，Touchdown是一家私人控股公司，为设计，制造和支持先进的微机电系统探针卡，以支持全球半导体制造商的晶圆测试需求。

2010年代：双寡头格局

泰瑞达（Teradyne）、爱德万测试（Advantest）双寡头形成。中国厂商崛起。广立微和华峰测控、冠中集创都有不俗表现。 

2010年，杭州广立微电子有限公司（Semitronix）开始晶圆级电性测试机的研发。广立微（Semitronix）成立于2003年，也是一家良率提供软件公司。

2010年7月，惠瑞捷（Verigy）在韩国安装并验证其全球首款面向GDDR5超快存储芯片快速高良率测试系统V93000 HSM6800系统。

2010年，组建冠中集创公司，当年推出基于事件架构PerPin通道的400Mbps数字测试系统CATT-400M，大量推向民品市场。

2011年7月4日，爱德万测试（Advantest）完成收购惠瑞捷（Verigy），使得其在SOC测试市场份额得以迅速发展。

2011年，冠中集创推出国内首台CATT-400M-CIS影像传感器测试系统，并进入中芯国际上海工厂。

2012年，冠中集创推出国内首台3500测试通道的LCDDRV测试系统CATT-400M-LCDDRV。

2012年1月，华峰测控（AccoTEST）推出基于全浮动资源的STS8200模拟及混合信号测试系统。

2012年，横河（Yokogawa）整个裁撤ATE事业部。

2012年，YIKC成立，收购横河（Yokogawa）的Memory测试机技术。YIKC意思是Yokogawa In Korea Company，意指横河在韩国公司。

2012年，专业测试商京元电子（KYEC）开发出200MHz测试技术，未来将持续朝高阶测试机台研发迈进。

2012年6月，原Intersil ATE产品线工程师创办ElevATE Semiconductor。这是一家针对 ATE设备开发芯片的公司。

2012年，芝测（ShibaSoku Co.，Ltd.）推出用于MOSFET、SBD和车载IGBT测量的SW系列机台。

2013年12月1日，LTX-Credence收购了Everett Charles，强化电路板测试业务；收购Multitest，强化分选机业务。

2013年，长川科技推出第二代数模混合测试机CTA8280，后续推出CTA8280F。

2014年，美国国家仪器有限公司（National Instruments，NI）正式进入ATE领域，发布了STS系统。公司早在1997年就进入了集成电路Lab市场。

2014年5月，LTX-Credence更名Xcerra Corporation。

2014年，长川科技推出功率器件测试机CTT3600和分立器件测试机CTT3280。

2014年，冠中集创推出国内首台可以同时测试128个Flash的CATT-400M-FLASH测试系统。

2015年，冠中集创推出对标泰瑞达IP750的CATT-400M-CIS测试系统，通过索尼（Sony）半导体的认证，正式在索尼（Sony）产业链中大批量应用。

2015年，YIKC收购AT Technology。 

2015年7月，华峰测控（AccoTEST）量产测试设备销售突破1000台。

2015年，SPEA推出MEMS测试设备H3580，可以针对不同的MEMS产品进行测试，包括惯性传感器、湿度传感器、压力传感器、紫外线传感器、接近传感器、MEMS麦克风、磁传感器、组合传感器和其他IC器件。

2016年，长川科技推出CTT3320。

2017年2月，悦芯科技成立，推出T800测试系统。

2017年，Spandnix开发了混合信号LSI测试系统（SX-3000A系列）。

2017年，长川科技推出采用全浮动VI源架构的第三代数模混合测试机CTA8290D。

2018年3月23日，武汉精测电子集团股份有限公司设立武武汉精鸿电子技术有限公司，布局半导体ATE设备。精测电子成立于2006年4月，从事LCD/PDP平面显示信号测试。

2018年8月，华峰测控（AccoTEST）测试机总销售台数突破2000台。

2018年9月18日，华峰测控（AccoTEST）推出“ALL in ONE”的STS8300全新模拟及混合信号测试平台。

2018年10月1日，Cohu完成收购Xcerra；双方股东在2018年8月30日同意此并购案；2018年5月8日，Cohu与Xcerra签署协议，将以现金和股票相结合的方式收购，交易对价合计约7.96亿美元。

2018年11月，广立微（Semitronix）顺利完成电学参数测试机Semitronix Tester T4000的交付。

2019年1月30日，泰瑞达（Teradyne）收购大功率半导体测试设备供应商Lemsys。

2019年2月21日，爱德万测试（Advantest）完成收购Astronics公司商用半导体系统级测试事业部，以新成立的实体Advantest Test Solutions, Inc.进行营运，为半导体产品及模组提供系统级测试。最终收购价格为1亿美元，外加最高3500万美元、依据特定绩效表现所得的绩效奖金；双方在2018年12月谈判时收购金额为1.85亿美元，外加3000万美元的特定绩效表现所得绩效奖金。

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